PI (Physik Instrumente)线性促动器原厂供货

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长行程纳米定位，具有高力，PiezoWalk原理

应用领域工业级精度定位

半导体技术

半导体测试

晶圆检测

平版印刷术

纳米压印

纳米测量

强磁场和真空中运动

采用PiezoWalk步进驱动实现纳米精度和大进给力

数个压电陶瓷促动器在

PiezoWalk步进驱动中执行步进运动，将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分

辨率进行最小步进和推进运动。

增量

编码器用于高精度位置测量

非接触式光学

编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。

适用于复杂真空应用PI的压电电机原则上是真空兼容的，并且适合在强磁场中运行。驱动器的特殊版本适于此目的。压电陶瓷步进驱动器还可用于有较强紫外线辐射的无尘室或环境中。

规格

N-216.101 / N

-216.1A1N

-216.201 / N

-216.2A1

公差N-216NEXLINE

线性促动器

力量生成达600牛

保持力达800牛

行程20毫米

带分辨率的集成式直接测量线性编码器5纳米

订购信息

N-216.101

NEXLINE压电陶瓷步进高负载促动器，20毫米，300牛，开环

N-216.1A1

NEXLINE压电陶瓷步进高负载促动器，20毫米，300牛，线性编码器，5纳米分辨率

N-216.201

NEXLINE压电陶瓷步进高负载促动器，20毫米，600牛，开环

N-216.2A1

NEXLINE压电陶瓷步进高负载促动器，20毫米，600牛，线性编码器，5纳米分辨率

更多型号如下：

Physik Instrumente  P-845.60

Physik Instrumente  E-501.00

Physik Instrumente  E-505.00

PI E-509.S1

PI M-235.5DG

PI M-406.4DG

PI C-863.12

PI M-403.4PD

PI M-404.4PD

PI M-521.DD1

PI P-620.1CD

PI L-611.9ASD

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