德国PI (Physik Instrumente)N-565 带线性编码器实现最高精度

N-565 带线性编码器实现最高精度

具有亚纳米级编码器分辨率的NEXACT®压电步进驱动器

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超高精度：最小位移为2纳米，直接测量PIOne编码器的分辨率为0.5纳米

关机后自锁：节约能量，减少热量产生

紧凑型设计：宽为65毫米、高为20毫米

长行程：13 毫米、26 毫米或52 毫米

PiezoWalk®技术带来长使用寿命和高可靠性

NEXACT®参考类别线性定位器

带NEXACT® PiezoWalk®驱动器的线性定位器可实现长行程范围内的纳米级高精度定位。其配置直接测量线性编码器和交叉滚柱轴承，可实现最高精度。

PiezoWalk®技术：高分辨率、低磨损

PiezoWalk®技术将压电陶瓷促动器与压电电机的技术优势结合在一起。PiezoWalk®步进驱动器不仅能提供亚纳米级分辨率、较大的力和高刚性，而且根据其驱动原理，其还能实现理论上无限的行程。不同于其他压电机动化驱动器原理，PiezoWalk®步进驱动器不受滑动摩擦作用的影响。其是基于几个压电陶瓷促动器的静摩擦接触，这几个促动器沿一个动轮步进。静止状态下，PiezoWalk®步进驱动器自锁，不消耗能量，无热量产生。

带PIOne线性编码器用于直接位置测量

高分辨率PIOne编码器由PI研发，在对测量数据进行相应处理后，可实现远低于1纳米的位置分辨率。此外，由于信号周期短、信号质量高，PIOne编码器的线性误差小于1 %。PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。

有效专利

在压电陶瓷步进驱动器（NEXACT®、NEXLINE®）技术领域，PI拥有以下专利或专利申请：

DE10148267B4, EP1267478B1, EP2209202B1, EP2209203B1, US6800984B2

应用领域

样本操纵、样本定位、高精度和高稳定性光学或机械部件、半导体行业中的精密机械部件、显微操纵、显微镜、自动化、有限空间内的应用、真空或无磁性环境中的应用。.

订购信息

N-565.160 精密线性定位平台，行程为13毫米，PIOne线性编码器，分辨率为0.5纳米，驱动力为10牛，尺寸为65 × 80 × 20毫米（宽 × 长 × 高），NEXACT压电步进驱动器

N-565.260 精密线性定位平台，行程为26毫米，PIOne线性编码器，分辨率为0.5纳米，驱动力为10牛，尺寸为65 × 110 × 20毫米（宽 × 长 × 高），NEXACT压电步进驱动器

N-565.360 精密线性定位平台，行程为52毫米，PIOne线性编码器，分辨率为0.5纳米，驱动力为10牛，尺寸为65 × 160 × 20毫米（宽 × 长 × 高），NEXACT压电步进驱动器

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