PI德国 NEXACT线性促动器，机械手，压电步进N-381

NEXACT线性促动器，机械手，压电步进

谭晶 QQ：2853369887   手机：18518172492 电话：010-64717020-116 传真：010-84786709-666 邮件：sales9@handelsen.cn

高分辨率，可选配位置传感器

N-381

§ 行程30毫米

§ 力量生成达10牛

§ 带NEXACT压电陶瓷步进驱动

§ 可选配：集成线性编码器，分辨率为20 纳米

应用领域

§ 工业级精度定位

§ 半导体技术

§ 半导体测试

§ 晶圆检测

§ 平版印刷术

§ 纳米压印

§ 纳米测量

§ 强磁场和真空中运动

采用PiezoWalk步进驱动实现纳米精度和大进给力

数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动中执行步进运动，将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分 辨率进行最小步进和推进运动。

增量编码器用于高精度位置测量

非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响。

订购信息

N-381.30

NEXACTUATOR线性促动器，30毫米，开环

N-381.3A

NEXACTUATOR线性促动器，30毫米，编码器分辨率为20纳米

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