PI (Physik Instrumente)NEXLINE线性促动器N-216

NEXLINE线性促动器

长行程纳米定位，具有高力，PiezoWalk原理

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N-216

§ 力量生成达600牛

§ 保持力达800牛

§ 行程20毫米

§ 带分辨率的集成式直接测量线性编码器 5纳米

应用领域

§ 工业级精度定位

§ 半导体技术

§ 半导体测试

§ 晶圆检测

§ 平版印刷术

§ 纳米压印

§ 纳米测量

§ 强磁场和真空中运动

采用PiezoWalk步进驱动实现纳米精度和大进给力 、数个压电陶瓷促动器在PiezoWalk步进驱动中执行步进运动，将动轮向前推进。促动器控制允许以远低于一纳米的分 辨率进行最小步进和推进运动。

增量编码器用于高精度位置测量

非接触式光学编码器以极高的精度直接在平台上测量位置。非线性效应、机械作用或弹性形

变不会对测量造成影响

适用于复杂真空应用

PI的压电电机原则上是真空兼容的，并且适合在强磁场中运行。驱动器的特殊版本适于此目的。压电陶瓷步进驱动器 还可用于有较强紫外线辐射的无尘室或环境中。

订购信息

N-216.101

NEXLINE压电陶瓷步进高负载促动器 ，20毫米，300牛，开环

N-216.1A1

NEXLINE压电陶瓷步进高负载促动器 ，20毫米，300牛，线性编码器，5纳米分辨率

N-216.201

NEXLINE压电陶瓷步进高负载促动器 ，20毫米，600牛，开环

N-216.2A1

NEXLINE压电陶瓷步进高负载促动器 ，20毫米，600牛，线性编码器，5纳米分辨率

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PI (Physik Instrumente)NEXLINE线性促动器N-216