德国PI 压电陶瓷Z向位移台/Z向和偏摆平台P-541.Z • P-541.T

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P-541.Z • P-541.T 压电陶瓷Z向位移台/Z向和偏摆平台

低外形，大孔径

§ 低外形用于实现简易集成：16.5毫米

§ 通孔尺寸80 毫米×80 毫米

§ 行程达150微米

§ 偏摆角达1.2毫弧度

§ 并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度

§ 传感器技术：便宜的应变片传感器或可 实现更高性能的电容式传感器

§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命

§ 可与显微镜平台组合实现更长行程

应用领域

·         扫描显微镜

·         超分辨率显微镜

·         生物技术

·         掩模/晶圆定位

·         样本定位

·         干涉测量

·         计量

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

并联运动实现高动态多轴操作

在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有最小的质量惯性和相同的设计，可实现快速、动态和精密的运动。

订购信息

P-541.ZCD

带大通光孔径的垂直纳米定位平台，100微米，电容传感器，直接位置测量

P-541.TCD

带大孔径的纳米定位器Z向和偏摆平台，100微米 / 0.8毫弧度，平行计量，电容传感器

P-541.ZSL

带大通光孔径的垂直纳米定位平台，100微米，应变片传感器

P-541.TSL

带大通光孔径的纳米定位器Z向和偏摆平台，100微米/0.8毫弧度，应变片传感器

P-541.Z0L

带大通光孔径的垂直纳米定位平台，150微米，不带传感器

P-541.T0L

带大通光孔径的纳米定位器Z向和偏摆平台，150微米/1.2毫弧度，不带传感器


 

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德国PI 压电陶瓷Z向位移台/Z向和偏摆平台P-541.Z • P-541.T