PI (Physik Instrumente)P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向压电工作台

P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向压电工作台

行程可变的高精度XY向纳米定位器

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P-620.2 – P-629.2

§ 行程为50至1800微米

§ 分辨率达0.1纳米

§ 定位精度 0.02 %

§ 带电容式传感器的直接计量

§ X、XY、Z和XYZ型

应用领域

·         干涉测量

·         显微镜

·         纳米定位

·         生物技术

·         测试程序和质量保证

·         光子

·         光纤定位

·         半导体技术

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

直接位置测量带来最大精度

运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

订购信息

带Sub-D连接器（公头）的版本

P-620.2CD

精密PIHera XY向纳米定位系统，50微米 × 50微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

P-621.2CD

精密PIHera XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

P-622.2CD

精密PIHera XY向纳米定位系统，250微米 × 250微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

P-625.2CD

精密PIHera XY向纳米定位系统，500微米 × 500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

P-628.2CD

精密PIHera XY向纳米定位系统，800微米 × 800微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

P-629.2CD

精密PIHera XY向纳米定位系统，1500微米 × 1500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器

带LEMO连接器的版本

P-620.2CL

精密PIHera XY向纳米定位系统，50微米 × 50微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

P-621.2CL

精密PIHera XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

P-622.2CL

精密PIHera XY向纳米定位系统，250微米 × 250微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

P-625.2CL

精密PIHera XY向纳米定位系统，500微米 × 500微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

P-628.2CL

精密PIHera XY向纳米定位系统，800微米 × 800微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

P-629.2CL

精密PIHera XY向纳米定位系统，1500微米 × 1500微米，直接位置测量，电容传感器，LEMO连接器

不带位置传感器的线性定位器

P-620.20L

精密PIHera XY向纳米定位系统，60微米 × 60微米，不带传感器，LEMO连接器

P-621.20L

精密PIHera XY向纳米定位系统，120微米 × 120微米，不带传感器，LEMO连接器

P-622.20L

精密PIHera XY向纳米定位系统，300微米 × 300微米，不带传感器，LEMO连接器

P-625.20L

精密PIHera XY向纳米定位系统，600微米 × 600微米，不带传感器，LEMO连接器

P-628.20L

精密PIHera XY向纳米定位系统，1000微米 × 1000微米，不带传感器，LEMO连接器

P-629.20L

精密PIHera XY向纳米定位系统，1800微米 × 1800微米，不带传感器，LEMO连接器

线性定位器，真空兼容达10-9百帕

P-620.2UD

精密PIHera XY向纳米定位系统，50微米 × 50微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕

P-621.2UD

精密PIHera XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕

P-622.2UD

精密PIHera XY向纳米定位系统，250微米 × 250微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕

P-625.2UD

精密PIHera XY向纳米定位系统，500微米 × 500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕

P-628.2UD

精密PIHera XY向纳米定位系统，800微米 × 800微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10-9百帕

P-629.2UD

精密PIHera XY向纳米定位系统，1500微米 × 1500微米，直接位置测量，电容传感器，Sub-D连接器, 真空兼容至10- 9百帕

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