PI (Physik Instrumente)压电扫描仪P-734 XY

P-734 XY压电扫描仪 

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具有最小振摆和通光孔径的高动态系统

超高精度轨迹控制，特别适用于表面分析和扫描显微镜

行程为100微米×100微米

电容式传感器可实现小于0.4纳米的分辨率

更佳的响应和多轴精度：并联运动/计量

通光孔径56毫米 × 56毫米

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

订单信息

P-734.2CD

最小跳动，100 µm×100 µm的高精度XY纳米定位系统，电容式传感器，并行计量，Sub-D

连接器

P-734.2CL

最小跳动，100 µm×100 µm的高精度XY纳米定位系统，电容式传感器，并行计量，LEMO

连接器

控制器/驱动器/放大器

E-725数字压电控制器

E-712数字压电控制器

E-761数字压电控制器

E-500•E-501模块化压电控制器

E-503压电放大器模块

E-505压电放大器模块

E-509信号调节器/压电伺服模块

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