德国MLase准分子激光器MLI系列寿命长、可靠性高、运行成本低

产品优势：

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1.MLI系列设备为工业应用提供具有直接波长的准分子激光器。具有市场上较长的正常运行时间和可靠性以及较低的运营成本。由于均匀的光束轮廓和能量稳定性，适用于要求苛刻的应用。

2.MLI 系列准分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，具有高达16 mJ的高脉冲能量和高达1,000 Hz的重复频率。

3.如果需要，标准设置的激光器可以根据个人需求进行调整。如：准分子激光器可用的波长为 193 nm（气体：ArF 氟化氩）和 248 nm（气体：KrF 氟化氪）。可根据要求提供其他波长如157nm等，也可以提供高功率版本HP

我们的LC准分子激光系统还能够进行主动水冷（使用家用水或外部热交换器;无纯化水），以实现稳定的连续运行。

重量：每件80公斤

冷却：水

电源功率：230V50/60Hz，最大功率2000W

外形尺寸(长x宽x高)：560x355X445毫米

波长（纳米）

193 193 193 248 248 248

重复频率（赫兹）

200 500 1000 200 500 1000

稳定的

脉冲能量 （mJ）

6 6 6 10 10 10

稳定平均功率 （W）

1,2 3,0 6,0 2,0 5,0 10

脉冲稳定性（西格玛 %）

2 2 2 2 2 2

光束尺寸（FWHM，VxHmm）

6×3 6×3 6×3 6×3 6×3 6×3

光束发散（FWHM，VxHmm） 2×1 2×1 2×1 2×1 2×1 2×1

脉冲长度

5-10 5-10 5-10 5-15 5-15 5-15

产品型号：

MLI - 200 / 500 / 1000

MLI-HP-KrF 500 / 1000

MLI-Krf-FBG/200/500/1000

MLI-HP-Krf-FBG/200/500/1000

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