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这些紧凑型定位系统可沿X和Y方向工作，其行程为100至300毫米，速度可达500毫米/秒，并且能够以高重复精度定位（单向重复精度可达0.05微米）。集成的高分辨率线性编码器直接在平台上测量位置；因此，非线性效应、机械游隙或弹性变形不会对位置测量造成任何影响。此外，具有平坦轮廓的平面设计很大程度地减少了堆叠误差并提高了刚度。100毫米的变型（图）在中心同样具有大孔径，因此可以从上方或下方接近样本或工件。
XY位移平台由PI控制器或基于EtherCAT的ACS控制模块控制，该模块还提供基于事件的触发，以控制与运动模式相关的激光或测量工具。
选择适应不同要求的电机
线性电机直接驱动（V-731、V-738和V-741）或步进和直流电机（L-731、L-738和L-741）是XY位移平台的原动力。三相磁性线性电机省去了动力传动系统中的机械组件，并将驱动力直接传输到运动平台且不会产生任何摩擦。这意味着可以实现高达500毫米/秒的速度。无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与永久性磁铁发生不良作用。这么一来，即使在最低的速度下也能保持平稳的运行，且在高速状态下也不会产生振动。
L-731、L-738和L-741 XY位移平台的工作速度可达90毫米/秒。可以使用步进电机或直流电机驱动精密滚珠丝杠。两相步进电机在较低的速度下也会产生高扭矩；对于要求高运行平稳性和较高速度的应用，建议使用直流电机变型。
PI简介
PI (Physik Instrumente)是全球精密定位技术市场的佼佼者，多年来以其优质产品而闻名。 在使用压电或电机驱动器的标准及OEM产品的开发和制造方面，PI拥有40年的历史。ACS是多轴高精度驱动器系统用模块化运动控制器的开发商和制造商，通过收购其大多数股份，PI在为要求高精度和动态的工业应用提供整套系统的方面又向前迈进了重要一步。PI集团分布全球，除了在德国设有四个基地之外，在其他国家和地区还设立了总共十五个销售和服务分部。
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