德国XITON激光器IXITON-193-SLM技术指导

 德国XITON激光器IXITON-193-SLM技术指导

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产品介绍：

IXION 193 SLM 是一种单频全固态激光系统，适用于光学计量、193 nm 步进光学器件校准或高功率 ArF 准分子激光器的带宽控制等应用。 光谱带宽接近其理论傅立叶极限。

 该系统的中心波长可在185-194 nm范围内定制，并可在订购时配置为固定波长。

193纳米计量

光谱仪校准

干涉测量法

准分子激光器的注射接种

波长: 185-194 nm

平均功率: 10 毫瓦

脉冲持续时间典型: 8-12 ns

每脉冲能量: 1.6 µJ

重复频率: 1-15 kHz

光束质量: M² < 1.6

频谱带宽: < 80 MHz

光谱可调: > 10 pm

相干长度: > 2 m

脉冲到脉冲刺: σ < 2.5 %